1738년 초 스위스 과학자 다니엘 베르누이(Daniel Bernoulli)는 최초의 베르누이 방정식을 기반으로 한 차압법을 사용하여 물의 흐름을 측정했습니다. 나중에 이탈리아 과학자 GB Venturi는 흐름을 측정하기 위해 Venturi 관을 사용하는 방법을 연구하고 1791년에 그의 결과를 발표했습니다.
1886년 미국의 허셜(Herschel)은 벤투리관을 물 흐름에 대한 실용적인 측정 장치로 개발했습니다.
20세기 초부터 중반까지 원래의 측정 원리는 점차 성숙해졌고 사람들은 더 이상 기존 방법에 국한되지 않고 새로운 탐구를 시작했습니다.
1930년대에는 음파를 이용해 액체와 기체의 유속을 측정하는 방법이 등장했습니다. 음파를 이용한 흐름 측정 방법이 연구되었지만 제2차 세계 대전까지 큰 진전을 이루지 못했습니다. 1955년이 되어서야 음향 순환 방식을 사용하는 Maxson 유량계가 항공 연료의 유량을 측정하기 위해 도입되었습니다.
1960년대부터 측정기기는 정밀화, 소형화를 향해 발전하기 시작했습니다.
집적 회로 기술의 급속한 발전으로 위상 고정 루프 기술이 적용된 초음파 유량계가 널리 사용되었습니다. 마이크로컴퓨터의 광범위한 적용으로 유량 측정 기능이 더욱 향상되었습니다. 예를 들어, 레이저 도플러 속도계는 마이크로컴퓨터를 장착한 후 더 복잡한 신호를 처리할 수 있습니다.